台积电:ASML 新款 High-NA EUV光刻机太贵,暂不购买

半导体 2026-04-23 11:28

台积电副共同营运长张晓强近日公开表示,该司目前没有采用 ASML最新高数值孔径极紫外光刻机(High-NA EUV)的计划,这类设备单台价格超过 3.5 亿欧元,太贵了,台积电仍然能够从现有 EUV 设备中获益。

简讯快报

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