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三星已取消增加光刻胶供应商的计划

编辑:AVA 发布:2022-09-22 11:29

据韩媒报道,三星已经取消了增加光刻胶供应商的计划。消息人士称,该公司曾与至少四家潜在的日本供应商接触,包括世界上最大的光刻胶制造商东京应化工业,但这些公司都无法满足三星的厚度要求。到目前为止,三星电子的 3D NAND光刻胶由东进半导体独家供应。

PR是曝光过程中使用的关键材料。在曝光的过程中,根据光源的类型,使用氟化氪 (KrF) 准分子激光器、氟化氩 (ArF) 准分子激光器和浸没式 ArF 设备。在 3D NAND 闪存的情况下,将其堆叠高比像现有工艺那样缩小线宽更重要。因此,在曝光过程中,KrF比ArF使用得更多。而3D NAND 的 KrF 光刻胶的核心是厚度。 

在量产第一代 3D NAND 闪存之前,三星电子与东进半导体深度合作,并公开所有工艺步骤来鼓励开发。通过两家公司的合作,东进半导体成功开发出比现有 KrF光刻胶厚 30% 的材料。 

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股市快讯 更新于: 10-06 09:03,数据存在延时

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