韩国本土半导体检测设备获SK海力士采用，将用于利川M16工厂

据韩媒报导，韩国本土半导体工艺检测设备厂商Nextin于27日宣布与SK海力士签订设备合同，合同金额为98亿韩元，占上一年度销售额的104.37％。该设备将用于SK海力士位于京畿道利川市的M16工厂。SK海力士的M16工厂建设已接近尾声，并计划在今年内建造一个洁净室，从明年开始批量生产，M16 将导入EUV光刻设备，用于生产第四代10nm级（1a）DRAM。

Nextin制造的设备可检测半导体晶片的超细图案中的缺陷。晶圆图案检查是拍照并找出时间是否有变化的过程。这类似于间谍卫星操作的原理。Nextin通过应用以色列的相关技术，生产出了可以与现有公司竞争的产品。

根据照射光的方法，图案检查设备分为明场（BF）和暗场（DF）。BF垂直照射光，以反射光拍摄图案表面，DF倾斜入射光，以散射光拍摄图案表面。Nextin的图案检测设备主要采用DF。

目前半导体图案检测设备的90％市场份额由美国KLA和日本的Hitachi把持。2014年，Nextin与德国研究所Fraunhofer合作开发了晶圆图案缺陷检查设备“ AEGIS”，市场格局由此发生了变化。Nextin在今年6月发布的 “ Easy II”性能比以前的产品提高10％。在确保比肩KLA产品的生产率的同时，其售价仅为KLA的三分之一。业界有分析认为，它已经超过了日立。

Nextin已确保SK海力士和Magna Chip Semiconductor为客户。自去年以来，它还向三星电子的系统半导体生产线提供设备，中国的长江存储也将向其采购设备。