佳能增产后段制程曝光设备

半导体 网络 Andy 2024-08-21 11:36

为了满足对生成式AI数据中心服务器不断增长的需求,佳能(Canon)决定增加其i线曝光设备的生产,这种设备用于AI芯片的后段制造过程。预计到2025财年(2025年4月至2026年3月),产量将达到80台,这是2024财年产量的两倍。该设备对于制造HBM至关重要,它用于形成连接多个DRAM芯片的凸块,以及形成HBM与图形处理单元(GPU)之间的重布线层。

佳能正在日本栃木县宇都宫市建设一座新工厂,投资超过500亿日元(约合3.4亿美元),该工厂将成为佳能半导体制造设备的主要生产基地,计划在2025年投入运营。新工厂将生产包括用于后段工艺的i线曝光机和功率半导体曝光设备在内的产品。

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