据韩媒报道,将人工智能(AI)应用于工艺设备以提高半导体生产率的竞争非常激烈,但韩国的基础技术却被发现非常薄弱。调查发现,衡量原创技术的重大专利中,韩国仅占4%,国外装备企业垄断96%。
调查显示,排名前10位的海外企业,包括应用材料公司、ASML、泛林集团、东京电子(TEL)、KLA,共申请了269项AI半导体设备相关专利。KLA 的案例最多,为 83 例,其次是 ASML(60 例)、日立高新技术(38 例)和 Applied(25 例)。
另一方面,韩国前10大半导体企业的专利申请状况不足。总共11项专利中,三星电子子公司Semis拥有7项,KC Tech有3项,PSK有1项。国内企业AI半导体设备专利占比仅为4%。
将人工智能应用于半导体设备正在成为全球趋势和核心竞争力。半导体制造商正在使用人工智能来分析流程,识别不必要的晶圆损失和缺陷,并优化流程。
AI还用于提高良率,将人工智能应用于半导体制造流程可以提高生产率并降低17%的成本。当人工智能引入研发 (R&D)、半导体设计、运营和营销等所有领域时,可以节省近 40% 的成本。
这也是国外设备公司争相推出基于AI的半导体设备的原因。通过将传感器安装到半导体设备上,收集各种数据,并由此提高生产率。人工智能技术在测量和检测领域得到了高度利用。

