佳能将于2023年上半年发售3D半导体光刻机

半导体 网络 Cynthia 2022-04-01 15:49

据日经报道,佳能正在开发用于半导体3D技术的光刻机。

在尖端半导体领域,3D技术可以通过堆叠多个芯片来提高半导体的性能。佳能新的光刻机产品最早将于2023年上半年上市。曝光面积扩大至现有产品的约4倍,可支持AI使用的大型半导体的生产。

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