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据外媒报道，SK海力士已经与荷兰半导体设备供应商ASML签署了一项为期五年的采购合同，总价值约4.8万亿韩元（43.4亿美元），用于购买EUV光刻机。

SK海力士通过监管文件表示，该笔交易是为了下一代技术生产的大规模量产而做准备。

2月初，SK海力士M16工厂举行了竣工仪式，新工厂的建筑面积大57000平方米，是SK海力士在全球最大的生产基地，将从今年下半年开始生产1αnm DRAM产品。

在DRAM技术上，三星已在2020年量产的16Gb LPDDR5中首次导入EUV工艺，基于1Znm制程技术。同时，三星也规划将在2021年大量生产基于第四代10nm级（1α）EUV工艺的16Gb DDR5/LPDDR5。

SK海力士也紧随其后，将在今年开始投产的M16工厂中导入EUV技术，目前仅美光考虑综合成本压力，仍未计划导入EUV。此前，美光执行副总裁兼事业长 Sumit Sadana表示，美光持续评估 EUV 的技术，也与生产 EUV设备的厂商合作。目前是处在研发的模式之下，因此一直在评估什么时候是最佳的时机。当 EUV 成为最具成本效益、最具经济效益的方式的时候，美光便会将 EUV 技术纳入产品组合里面。