美国拟限制向特定中国晶圆厂出口设备，或涉及旧款DUV

据外媒报道，荷兰政府打算限制ASML向中国出口特定设备，美国也计划采取更进一步行动，阻止业者将更多半导体生产设备运往特定中国晶圆厂，甚至可能包括用于成熟制程、较旧型的DUV深紫外光微影设备。

美国已在去年10月实施出口禁令，限制科林研发、应用材料等美国设备厂把美国芯片制造工具卖给中国，并且游说其他拥有重要供应商的国家采取类似措施。

日本也将从7月23日起限制23种半导体制造设备的出口。日本拥有Nikon、东京电子等芯片设备制造商。

荷兰政府则计划在本月底或下月初宣布新规定，要求ASML顶规的DUV 设备出口需取得许可证。至于ASML最精密的机台EUV极紫外光微影设备早已受到限制，已经不再出口至中国。

报道称，ASML较旧型的DUV机台，如TWINSCAN NXT：1980Di，也可能遭美限制出口给中国晶圆厂商。据知情人士透露，预计在美国新的规定中，将允许美国把对外国设备的限制范围涵盖至甚至只拥有很小比率的美国零件的设备。

消息人士称，荷兰新的规定将不会立即生效，预期9月才会生效。

至于美国计划中的新规定，消息人士透露，可能会在7月底公布。美国在核准法规之前修改计划并不常见，因此上述时程与限制都可能调整。

消息人士称，预期美国也会在7月对去年10月颁布的规定进行更新调整。