三星泰勒晶圆厂加快无尘室建设，招募EUV工程团队

据韩媒报道，半导体行业人士透露，三星电子从今年第四季度开始下达无尘室设施订单，以建设美国德州泰勒晶圆厂。

三星电子此次订购的设备是无尘室建设所需的配套设备，预计最早将于明年 1 月开始供应。此外，三星美国奥斯汀分公司也在积极招募极紫外光（EUV）人才，期望在泰勒新厂竣工的1年半左右，建立EUV工程团队。 

三星德州泰勒厂斥资170亿美元，主要瞄准5nm以下制程，2022年11月传三星已投入厂房建设，后续有望加速相关量产时程，泰勒一厂预计将在2024年下半年完工。

原定于今年上半年举行的奠基仪式尚未举行，但三星电子预计将完成基础工作，并从明年初正式开始建造无尘室。 

预计该设备订单将成为工厂全面建设的信号。对此，三星电子正在推进先行建设无尘室，然后根据市场需求灵活运营的“Shell First”战略。

洁净室是控制半导体制造环境中的污染程度、温度、湿度和大气压力等所有要素的基础设施。先建后引进半导体生产主要设备。在半导体制程中，即使是从外部流入的微量灰尘也会导致成品率问题，因此必须安装洁净室以保持极高的洁净度。

不过，这次下的订单是辅助设备。据了解，作为洁净室关键设备的FFU（Fan Filter Unit）的供货还在洽谈中。考虑到三星电子力争在明年第四季度完成无尘室建设，业界预计订单将在明年上半年下达。建造一个洁净室通常需要6个月到1年的时间。

同时，据悉，泰勒晶圆厂制造工厂所需设备的引进从明年第四季度初略微推迟到明年第四季度末。有可能会推迟到 2024 年初。