三星电子已将东进半导体EUV光刻胶导入产线

据韩媒报道，三星电子将一家韩国公司开发的用于高科技工艺的极紫外 (EUV) 光刻胶 (PR) 引入其量产生产线。这是自2019 年受日本的出口法规限制后，韩国经过三年的本地化努力后的结果。

2021年东进半导体的EUV PR通过三星电子的可靠性测试，目前已应用于三星半导体产线之一，虽然一条工艺线只是三星电子整个工艺中非常小的一部分，但是，由于它是一种完全依赖进口的产品，因此具有特殊的意义。

由于三星已将该产品用于实际的半导体生产，因此东进半导体成为韩国首家将EUV PR国产化至量产水平的公司。YOUNGCHANG Chemical和SK materials也在开发EUV PR，但还没有达到可靠性验证的水平。

三星电子是否会从东进半导体引入额外的 EUV PR 目前尚未确定。因为要考虑的因素很多，比如与海外EUV PR供应商的关系。此外，由于供应量较小，预计未来是否会扩大供应，将以东进半导体的表现为主。