编辑:Andy 发布:2025-03-27 11:03
中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)正式发布其自主研发的12英寸晶圆边缘刻蚀设备Primo Halona™。该款刻蚀设备的问世,实现了中微公司在等离子体刻蚀技术领域的又一次突破创新。
此款12英寸边缘刻蚀设备Primo Halona™采用中微公司特色的双反应台设计,可灵活配置最多三个双反应台的反应腔,且每个反应腔均能同时加工两片晶圆,在保证较低生产成本的同时,满足晶圆边缘刻蚀的量产需求,从而实现更高的产出密度,提升生产效率。此外,设备腔体均搭载Quadra-arm机械臂,精准灵活,腔体内部采用抗腐蚀材料设计,可抵抗卤素气体腐蚀,为设备的稳定性与耐久性提供保证。此外,Primo Halona™配备独特的自对准安装设计方案,不仅可提高上下极板的对中精度和平行度,还可有效减少因校准安装带来的停机维护时间,从而帮助客户优化产能,精益生产。在设备智能化方面,Primo Halona™提供可选装的集成量测模块,客户通过该量测模板可实现本地实时膜厚量测,一键式实现晶圆传送的补偿校准,实现更好的产品维护性,大大提升后期维护效率。
据业绩快报显示,中微公司2024年营业收入约90.65亿元,较2023年增加约28.02亿元。公司在过去13年保持营业收入年均增长大于35%,近四年营业收入年均增长大于40%的基础上,2024年营业收入又同比增长约44.73%。其中,刻蚀设备收入约72.77亿元,在最近四年收入年均增长超过50%的基础上,2024年又同比增长约54.73%。
存储原厂 |
三星电子 | 60200 | KRW | -2.59% |
SK海力士 | 199300 | KRW | -3.72% |
铠侠 | 2564 | JPY | +0.98% |
美光科技 | 88.440 | USD | -2.98% |
西部数据 | 40.620 | USD | -3.08% |
闪迪 | 48.970 | USD | -7.39% |
南亚科 | 40.30 | TWD | -4.05% |
华邦电子 | 18.70 | TWD | -2.86% |
主控厂商 |
群联电子 | 560 | TWD | -1.41% |
慧荣科技 | 50.730 | USD | -1.72% |
联芸科技 | 46.49 | CNY | -2.41% |
点序 | 67.2 | TWD | -2.18% |
国科微 | 69.33 | CNY | -1.13% |
品牌/模组 |
江波龙 | 92.20 | CNY | -2.85% |
希捷科技 | 84.920 | USD | -2.95% |
宜鼎国际 | 262.5 | TWD | -3.14% |
创见资讯 | 102.0 | TWD | -2.86% |
威刚科技 | 87.9 | TWD | -4.04% |
世迈科技 | 17.460 | USD | -4.33% |
朗科科技 | 26.47 | CNY | -0.11% |
佰维存储 | 69.99 | CNY | -2.38% |
德明利 | 127.77 | CNY | +0.02% |
大为股份 | 14.73 | CNY | -2.19% |
封测厂商 |
华泰电子 | 34.35 | TWD | -5.11% |
力成 | 129.0 | TWD | -0.77% |
长电科技 | 35.90 | CNY | -0.42% |
日月光 | 150.5 | TWD | -3.83% |
通富微电 | 27.03 | CNY | -0.88% |
华天科技 | 10.68 | CNY | -1.11% |
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