三星电子正开发“智能传感器系统”，旨在提高半导体产量及生产率

据韩媒报道，业内人士25日透露，三星电子已开始研发(R&D)智能传感器系统，应用于半导体工艺控制和管理。旨在提高半导体产量并提高生产率，是一项最终接近实现无人和人工智能（AI）半导体工厂（fabs）的技术。

目前正在开发的智能传感器用于测量晶圆的等离子体均匀性。等离子体用于蚀刻、沉积和清洁，这些是半导体工艺的核心部分。只有通过精确控制进行半导体工艺的腔室中的等离子体均匀性和密度，才能提高半导体产量。因此，准确测量和管理等离子体条件被认为是半导体行业的代表性任务。

据了解，三星电子正在开发的智能传感器为超小型，不会对现有设备空间产生重大影响。这意味着可以提高生产率，同时提高空间利用率。

据报道，三星电子计划逐步扩大智能传感器的开发和应用范围。目的是开发可用于各种半导体工艺而不仅限于等离子体的智能传感器和系统。

三星电子计划在中长期内实现半导体工厂的无人化。三星电子正在组建相关组织并构建系统，以期到 2030 年将其工厂转变为“无人自动化工厂”。

要实现无人工厂，需要对工艺过程中产生的大数据进行分析和优化，例如半导体设备。智能传感器系统预计将在此过程中发挥关键作用。

尤其是流程数据是将AI应用到半导体生产流程的必备要素，智能传感器有望成为未来三星电子半导体晶圆厂AI推进的支柱。