AI半导体设备竞争激烈，韩国相关专利仅占4%

据韩媒报道，将人工智能（AI）应用于工艺设备以提高半导体生产率的竞争非常激烈，但韩国的基础技术却被发现非常薄弱。调查发现，衡量原创技术的重大专利中，韩国仅占4%，国外装备企业垄断96%。

调查显示，排名前10位的海外企业，包括应用材料公司、ASML、泛林集团、东京电子（TEL）、KLA，共申请了269项AI半导体设备相关专利。KLA 的案例最多，为 83 例，其次是 ASML（60 例）、日立高新技术（38 例）和 Applied（25 例）。

另一方面，韩国前10大半导体企业的专利申请状况不足。总共11项专利中，三星电子子公司Semis拥有7项，KC Tech有3项，PSK有1项。国内企业AI半导体设备专利占比仅为4%。

将人工智能应用于半导体设备正在成为全球趋势和核心竞争力。半导体制造商正在使用人工智能来分析流程，识别不必要的晶圆损失和缺陷，并优化流程。

AI还用于提高良率，将人工智能应用于半导体制造流程可以提高生产率并降低17%的成本。当人工智能引入研发 (R&D)、半导体设计、运营和营销等所有领域时，可以节省近 40% 的成本。

这也是国外设备公司争相推出基于AI的半导体设备的原因。通过将传感器安装到半导体设备上，收集各种数据，并由此提高生产率。人工智能技术在测量和检测领域得到了高度利用。