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传日本首次向三星华城厂出货EUV用光阻剂

编辑:AVA 发布:2019-08-13 09:16

自日本也允许蚀刻气体出口给三星西安半导体厂之后,据ET News报导指出,传日本首次向三星电子(Samsung Electronics)华城厂出货EUV用光阻剂。

这二笔申请是日本对韩国实施审查后,首次有韩国业者的韩国或海外工厂获取日厂材料,同时,因审查制度启用后同时释出二个品项,审查时间也由既定的90日缩短到35日。韩国业界认为,日方可能是为了避免全球半导体供应链运行出现问题,业界乐观预测,未来可能不会实施追加措施。

三星西安厂与SK海力士(SK Hynix)无锡厂,分别是三星NAND Flash和SK海力士DRAM的海外半导体生产据点,日本7月初宣布对韩审查后,原本担忧中国大陆工厂的氟化氢等关键材料供给,会因为公司为韩国企业而受到影响。有了这次允许出口大陆前例,日后韩国企业在大陆工厂的材料供给应不会出现问题。

另外,三星也正从比利时供应商取得极紫外线光阻剂,以替代日本厂商,且已经采购6到10个月的库存,已应对日本对韩国出口的限制。

业内人士预计,日本对韩国的出口管制会延续,韩国企业为预防未来再发生一样的事情,正在积极推动各项自给自足的计划,以及寻求日本以外的供应商合作,同时韩国方面也在加强原材料等领域研发投入。

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